當前金屬原料板材經裁剪（或打磨）、化學清洗及干燥處理后，存放于真空度較低（約100Pa）的真空儲存柜，仍不可避免地帶來碳、氧、氮等雜質元素的吸附污染。金屬材料全自動高真空貯存柜主要用于合金原材料的高真空貯存。

高真空儲存柜為非標工藝設備，主要原理為真空干燥箱類似抽真空，主要由進樣室、儲樣室、傳送裝置、計算機自動識別與控制等部分組成。

   高真空儲存柜技術要求與指標

   1、進樣室

進樣室為單腔室，主要材質為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼），腔室內表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規范執行，保證進樣室具有高真空度、高清潔度。具有自動放氣功能，并帶有正壓保護閥。

進樣室包括：快速進樣法蘭，視窗，傳送裝置，樣品托盤，分子泵，干泵，真空規，放氣裝置，照明裝置。極限真空度：空載、干燥、室溫下30分鐘內達到10^-4 Pa，漏率小于1×10^-11 Pa·m³/s。

閥門至少包括4個，包括分子泵連接進樣室、進樣室連接儲樣室（為氣動插板閥）、放氣閥、漏閥。泵包括1個分子泵和1個干泵，泵組的抽速需要滿足同時給進樣室和儲樣室抽真空的要求。

    2、儲樣室

儲樣室為單腔室，主要材質為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼），腔室內表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規范執行，保證儲樣室具有高真空度、高清潔度。

儲樣室包括：連接進樣室法蘭，快開門法蘭和視窗，存樣裝置，離子泵，真空規，照明裝置。極限真空度：空載、干燥、室溫下≤5′10^-6 Pa；漏率：<1′10^-11 Pa.m³/s；空載靜態保壓：關閉抽氣設備12小時后靜態真空≤5×10^-2 Pa；存、取放樣品時，儲樣室不暴露大氣；保留快開門方便儲樣室內部維護和清理；儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6 kg。

閥門至少包括1個，包括離子泵連接儲樣室。泵包括1個離子泵，離子泵的規格需要滿足儲樣室抽真空的要求，離子泵帶鈦升華泵，自帶加熱功能及配套電源。

    3、 傳送裝置及計算機控制系統

單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g；

控制系統模塊化設計，可實現PLC自動控制真空泵機組抽真空、機械傳送裝置在進樣室與儲樣室間進樣與取樣、儲樣室樣品架升降旋轉、進樣室放氣等全自動過程，采用真空、位置等參數反饋控制上述動作，無需人為干涉；

可任意查詢某批樣品的位置和數量；

可視化仿真軟件顯示與控制，實時顯示進樣室和儲樣室真空度、溫度等信息；

系統應與甲方的上位控制系統進行通訊，數據應采集至上位控制系統中，通訊接口及協議應滿足甲方的接口規范。

金屬材料全自動高真空貯存柜的技術要求列于表1中。

表1 詳細技術指標